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璞璘交付中国首台半导体级步进纳米压印光刻机，支持＜10nm 线宽

作者：P粉390130307 | 点击: | 来源：P粉390130307

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8月5日消息，璞璘科技PRINANO近日宣布，已于8月1日成功向国内某特色工艺客户交付其自主研发的中国首台半导体级步进式纳米压印光刻（NIL）系统——PL-SR。在PL-SR系列设备的研发过程中，璞璘科技突破了喷墨涂胶工艺中的多项关键技术难题，实现了纳米级别的压印膜厚控制，达到平均残余层厚度＜10nm、残余层波动＜2nm、压印结构深宽比＞7:1的性能指标，支持线宽小于10nm的NIL工艺应用。据公司介绍，PL-SR系列喷墨步进式纳米压印设备目前已完成在存储芯片、硅基（oS...

8 月 5 日消息，璞璘科技 prinano 近日宣布，已于 8 月 1 日成功向国内某特色工艺客户交付其自主研发的中国首台半导体级步进式纳米压印光刻（nil）系统——pl-sr

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在 PL-SR 系列设备的研发过程中，璞璘科技突破了喷墨涂胶工艺中的多项关键技术难题，实现了纳米级别的压印膜厚控制，达到平均残余层厚度＜10nm、残余层波动＜2nm、压印结构深宽比＞7:1 的性能指标，支持线宽小于 10nm 的 NIL 工艺应用。

据公司介绍，PL-SR 系列喷墨步进式纳米压印设备目前已完成在存储芯片、硅基（oS）微显示器、硅光（SiPh）以及先进封装（AVP）等领域的初步芯片研发验证工作；设备支持最小 20mm×20mm 压印模板的均匀拼接，最终可扩展至 12 英寸晶圆级超大模板，具备规模化应用潜力。

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璞璘交付中国首台半导体级步进纳米压印光刻机，支持＜10nm 线宽